[实用新型]一种机械移门药气隔断装置有效
| 申请号： | 202220820601.7 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN217280700U | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 冯志东;王小博;胡大鹏;戴加勇 | 申请（专利权）人： | 上海港麟半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 王克兰 |
| 地址： | 201208 上海市自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种机械移门药气隔断装置，包括气缸驱动机构、移门、固定导向机构，所述移门上设有固定导向机构，且所述移门通过固定导向机构与气缸驱动机构活动连接。本实用新型的机械移门药气隔断装置结构简单，设计合理，便于生产，成本较低，提高了移门开合的安全性和可靠性，减小了装置的空间占用，大大减少了光伏湿制程设备的药液槽中药气的泄漏，进一步减少了药气在设备内的流窜，提升了产品的质量和效果，其中的气缸驱动机构牢固稳定，操作便捷，能够快速实现移门的开启或关闭，并且提高了维修与安装的了便利性，并且本实用新型相较于单滑轨结构进一步减小了移门在开合过程中的震动，提高了整体的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 机械 移门药气 隔断 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
