[实用新型]一种单晶硅微针结构有效
| 申请号： | 202220849313.4 | 申请日： | 2022-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN217409560U | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 俞骁 | 申请（专利权）人： | 苏州揽芯微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00 |
| 代理公司： | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人： | 刘俊玲 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区甪直*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本实用新型提供了一种单晶硅微针结构，涉及微纳加工技术领域，包括基底和以阵列形式排列在所述基底上表面的微针单体；所述微针单体的形状为楔形结构，且具有首尾连接的第一侧面、第二侧面和斜面；所述微针单体的密度为3‑200个/mm |
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| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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