[实用新型]一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置

摘要

本实用新型公开了一种高纯磷烷中痕量硫化氢的分析装置，所述分析装置包括载气主管、第一气动六通阀，第二气动六通阀，第三气动六通阀、六通接头、三通接头和一个氦离子化检测器，载气主管通过六通阀连接有第一载气管、第二载气管、第三载气管、尾吹气管和放电气管，第一、第二、第三气动六通阀上均有六个接口；第一载气管经六通接头连接第一气动六通阀的一号接口，第二载气管经六通接头连接第二气动六通阀的四号接口，第三载气管经六通接头连接第三气动六通阀的四号接口，第一气动六通阀的二号接口和五号接口之间连接有定量环。本实用新型的分析装置在分析周期，数据有效性，色谱仪稳定性以及生产成本上有重大突破。