[实用新型]一种立式镀膜装置有效
| 申请号： | 202220900043.5 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN218059179U | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 张睿智;王宇麟;解杰;王文琦;吴信昌;刘风雷 | 申请（专利权）人： | 浙江水晶光电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 318000 浙江省台州市椒*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供一种立式镀膜装置，涉及半导体制备技术领域，包括基座、镀膜机构以及转动设置于基座上的公转机构，在公转机构的周壁设置有载板，在载板上转动设置有用于放置平面基板的自转机构，公转机构的转动平面与自转机构的转动平面垂直，镀膜机构设置于基座且与平面基板对应，以此通过自转能够改变平面基板表面位置点与镀膜机构的距离，从而平衡各位置点距离的差异化，进而减小平面基板表面镀膜的横向散差，提高产品的均匀性和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 立式 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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