[实用新型]一种晶圆加工制程用撕金膜有效
| 申请号： | 202220910761.0 | 申请日： | 2022-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN216890758U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 李政;张强 | 申请（专利权）人： | 广东莱尔新材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09J7/24 | 分类号： | C09J7/24;C09J7/50 |
| 代理公司： | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 44379 | 代理人： | 邓流沛;梁永健 |
| 地址： | 528000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆加工制程用撕金膜，涉及功能薄膜技术领域。晶圆加工制程用撕金膜，从下至上包括离型层、基材层、隔离层和压敏胶层，隔离层用于阻隔基材层中的增塑剂迁移至压敏胶层；离型层用于防止收卷时压敏胶层粘连背面；离型层、隔离层和压敏胶层的原料均为UV固化型树脂。本实用新型的晶圆加工制程用撕金膜通过在聚氯乙烯基膜层和压敏胶层间设置了隔离层，可有效隔离聚氯乙烯基膜中的增塑剂向压敏胶层的迁移，从而避免污染晶圆的风险，同时，离型层、隔离层和压敏胶层的原料均为UV固化型树脂，通过UV照射便可固化，无需进行加热烘烤过程，解决了聚氯乙烯基膜因发生热收缩而导致尺寸不稳定的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加工 制程用撕金膜 | ||
【主权项】：
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