[实用新型]一种晶圆加工用夹爪机构有效
| 申请号： | 202220916302.3 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN217020420U | 公开（公告）日： | 2022-07-22 |
| 发明（设计）人： | 陈曙光;林坚;王彭 | 申请（专利权）人： | 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/08;B65G47/90;B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 李晓峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆加工用夹爪机构，包括夹爪盒本体，夹爪盒本体的顶部和底部分别设置有上盖和下盖，夹爪盒本体内沿着Y轴的正方向依次设置有轴固定块和夹爪驱动机构，夹爪盒本体沿着X轴负方向的一侧设置有夹爪连接块，夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接。本实用新型一种晶圆加工用夹爪机构，通过夹爪盒本体的夹爪驱动机构可以实现对晶圆盒的夹取操作，结构设置合理，操作简单，使用方便；夹爪连接块通过夹爪连接轴与夹爪盒本体内的轴固定块相连接的结构设置，可以方便通过夹爪连接块控制夹爪盒本体的运动情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆加 工用 机构 | ||
【主权项】：
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