[实用新型]一种单片晶圆显影装置有效
| 申请号： | 202221005563.6 | 申请日： | 2022-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN217467466U | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 彭鹏飞;宋艳汝;方维政;徐旭光 | 申请（专利权）人： | 上海科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 石应杰;许亦琳 |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单片晶圆显影装置，包括显影框架和若干显影容器，所述显影框架用于装载晶圆，所述显影容器用于盛装显影液和显影停止液；所述显影框架包括晶圆支撑架，所述晶圆支撑架上方设有把手，所述把手的两端与所述晶圆支撑架的相对两侧可拆卸连接，所述晶圆支撑架上边缘设有可移动卡扣。本实用新型提供的单片晶圆显影装置结构简单、制造成本低，简单易操作，克服了微加工过程中的单片显影工艺手动显影过程中容易刮伤晶圆表面且无法准确控制显影时间的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单片 显影 装置 | ||
【主权项】：
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