[实用新型]一种HJT电池平板HWCVD设备工艺腔及设备

摘要

本实用新型涉及一种HJT电池平板HWCVD设备工艺腔及设备，其工艺腔包括工艺腔腔体，所述工艺腔腔体包括左腔壁和右腔壁，在所述左腔壁及右腔壁的上部沿物料移动方向均布有加热丝，所述加热丝的两端设有插头，所述左腔壁及右腔壁设有插座，所述插头与所述插座电性连接，所述加热丝的外部设有套管，所述插头安装在所述套管上，所述加热丝与所述插头电性连接。本实用新型将加热丝由立式设置改为平板式安装在工艺腔腔体的上部，电池tray板从加热丝的下方通过，易于沉积镀膜，镀膜效果好；加热丝不易发生抖动或者变形；自动化取料故障率低。