[实用新型]椭偏仪组件有效
| 申请号： | 202221145900.1 | 申请日： | 2022-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN217542851U | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 邓思静;李兆颖;周来平 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/01 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种椭偏仪组件，包括：机台，机台具有测量平台，测量平台具有第一定位柱和第二定位柱，第一定位柱和第二定位柱在测量平台的周向上间隔开排布；扇环治具，扇环治具形成为开环形，扇环治具设有第一定位孔和第二定位孔，第一定位孔适于与第一定位柱卡接配合，第二定位孔适于与第二定位柱卡接配合，在扇环治具从第一定位柱和第二定位柱拆下时，第一定位柱和第二定位柱配合以定位第一硅晶圆；在扇环治具安装于第一定位柱和第二定位柱时，扇环治具的内环定位第二硅晶圆，第一硅晶圆的直径大于第二硅晶圆的直径。根据本实用新型的椭偏仪组件，可以准确定位不同直径的硅晶圆，有利于保证对不同直径的硅晶圆检测的可靠性和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 椭偏仪 组件 | ||
【主权项】：
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