[实用新型]循环清洗装置有效
| 申请号： | 202221186493.9 | 申请日： | 2022-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN217595342U | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 龚庆;裴文龙;汤超;姜涛 | 申请（专利权）人： | 江苏启威星装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B11/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 226300 江苏省南通市通州区金*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种循环清洗装置，包括反应槽和循环泵，其中反应槽具有主槽和副槽，主槽用于容纳待清洗件，主槽具有主槽进液口，副槽具有设置高度高于主槽进液口的副槽出液口，副槽出液口连通主槽进液口；循环泵的一端连接主槽，另一端连接副槽，循环泵配置为能够将主槽内的清洗液抽取至副槽内，直至副槽内的清洗液溢流回至主槽内，以循环清洗待清洗件。在该循环过程中，气泡较多地产生于副槽中，从而消除气泡对待清洗件的不利影响。同时，由于主槽容积大于副槽容积，主槽中并不需要流出太多清洗液即可填满副槽，副槽也不需溢流回太多清洗液即可填满主槽，从而可使副槽的容积大大减少，进而缩小了整个循环清洗装置的体积，降低了生产制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 循环 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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