[实用新型]一种光学检测设备有效
| 申请号： | 202221199790.7 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN217359651U | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 马铁中;王林梓;苏永鹏;周尧;张立芳;程广真;赵政朋 | 申请（专利权）人： | 昂坤视觉（北京）科技有限公司;北京昂坤半导体设备有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/01;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 何世磊 |
| 地址： | 102200 北京市昌平区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种光学检测设备，用于检测晶圆表面缺陷；所述光学检测设备包括支架组件、载台、第一主检镜头、第二主检镜头、载台驱动单元、成像分析单元，第一主检镜头的摄像端朝向第二主检镜头的摄像端，且第一主检镜头的摄像端与第二主检镜头的摄像端沿垂直于载台的支撑面的方向设置，载台的支撑面具有透光结构；当载台驱动单元驱动载台沿其支撑面所在平面的x方向和/或y方向移动，通过承载待检测晶圆的载台在相对应设置的第一主检镜头、第二主检镜头之间，以实现对待检测晶圆的正反两面同时进行检测，且保证对待检测晶圆的正面检测结果和背面检测结果完全对应，达到简化检测流程，提高晶圆的缺陷检出率及检测效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 检测 设备 | ||
【主权项】：
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