[实用新型]一种单晶炉炉体结构有效
| 申请号： | 202221214082.6 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN217781327U | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 张乐 | 申请（专利权）人： | 光科真空科技（泰兴）有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/02 | 分类号： | C30B27/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 张春合 |
| 地址： | 225400 江苏省泰州市泰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种单晶炉炉体结构，特点是所述的上炉室顶部设置有晶体提升旋转机构，下炉室底部设置有坩埚提升旋转机构；所述的上炉室与炉盖之间设置有隔离阀室；所述的上炉室、下炉室的内筒体与外筒体之间均设置有隔水条，隔水条一侧与内筒体贴合，另一侧与外筒体贴合；所述的内筒体表面设置有若干组导向槽，所述的导向槽呈螺旋状排列并通过焊接固定设置在内筒体表面；所述的隔水条嵌入设置在导向槽内；所述的上炉室、下炉室的端面法兰内侧设置有环向的密封槽。优点是大大降低了水路发生窜水现象的几率；炉室的密封效果大大提高，有效避免发生渗漏现象，而且整体结构稳定性较好，减少了维修的频率，延长了炉体的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉炉体 结构 | ||
【主权项】：
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