[实用新型]一种MOCVD工艺使用的加热装置有效
| 申请号： | 202221236363.1 | 申请日： | 2022-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN217709765U | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 陈凯辉;陈亮 | 申请（专利权）人： | 申集半导体科技（徐州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/10 | 分类号： | C30B25/10;C23C16/46 |
| 代理公司： | 天津煜博知识产权代理事务所(普通合伙) 12246 | 代理人： | 林秀秀 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MOCVD工艺使用的加热装置，涉及半导体制造技术领域。该MOCVD工艺使用的加热装置，包括工作箱，所述工作箱的下表面固定连接有支撑块，所述工作箱的下表面设置有保护壳，所述保护壳的内部设置有传动机构，所述保护壳的下表面设置有电机，所述工作箱的内侧面固定连接有安装板。本实用新型中，设置了电机、丝杆、移动板、传动机构、反射板，通过电机可以带动丝杆转动，从而改变移动板的高度，方便根据实际需求，调节加热装置的电热丝与衬底托盘之间的距离，从而达到最佳加热距离，缩短加热时间，提高工艺效率，使用方便，反射板可以减少热辐射的丢失，使热辐射朝向上方的中部，提高加热的效率，节省能源。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 工艺 使用 加热 装置 | ||
【主权项】：
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