[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 202221236854.6 | 申请日： | 2022-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN217591087U | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 赵转转;王凯杰;张睿 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司;瑞声声学科技（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种MEMS麦克风，包括形成有背腔的基底和设置在所述基底上与基底相连的电容系统，所述电容系统包括位于基底上部的振膜以及与所述振膜间隔设置的背板；其特征在于，该MEMS麦克风还包括一个阻挡结构，所述阻挡结构在振动方向上与所述电容系统间隔设置；本实用新型利用在振动方向上与电容系统间隔设置的阻挡结构，既能保证在小声压下不影响振膜与背板的运动，从而不影响麦克风的性能，又能在大声压下对振膜与背板的形变起到阻碍作用，从而抑制振膜与背板大变形引起断裂导致麦克风的失效。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
暂无信息
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