[实用新型]一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置有效
| 申请号： | 202221337728.X | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN217494795U | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 张燕;陈松涛;何在田 | 申请（专利权）人： | 郑州轨道交通信息技术研究院 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 郑州浩德知识产权代理事务所(普通合伙) 41130 | 代理人： | 柏琼琼 |
| 地址： | 450001 河南省郑州市*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型属于芯片生产的技术领域，具体为一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，一种晶圆切割设备运动平台导轨的降温装置，包括支撑板，其特征在于，所述的支撑板上间隔固定连接有四组伸缩杆，四组所述的伸缩杆伸出端固定连接有支撑平台，所述的支撑平台上间隔设有两组纵向滑动轨道，两组所述的纵向滑动轨道上滑动连接有滑动连接板，所述的滑动连接板上固定连接有横向滑动轨道，所述的横向滑动轨道上滑动连接有支架，所述的支架上固定连接有晶圆吸盘，所述的支撑平台上设有用于对纵向滑动轨道散热的散热装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 设备 运动 平台 导轨 降温 装置 | ||
【主权项】：
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