[实用新型]一种强磁场热压制备硅管靶材的装置

摘要

本实用新型涉及硅管靶材制备技术领域，且公开了一种强磁场热压制备硅管靶材的装置，包括机体，所述机体的内底壁固定安装有U形板，所述U形板前后两侧的内壁均固定安装有磁场线圈，所述机体右侧的内壁固定连接有压缩弹簧，所述压缩弹簧的左端固定连接有环形块，所述环形块的内部活动连接有炉管。该强磁场热压制备硅管靶材的装置，硅管靶材向右套在炉管表面后合上封门，通过L形卡块受复位弹簧弹力而上移并与封门底部插接，使封门合上后固定，通过启动抽真空装置对机体内进行抽真空，使得封门右侧框形密封垫右侧边缘与安装槽右侧内壁的边缘处抵持，硅管靶材上料后机体内的密封效果较好，从而便于硅管靶材的热压制备。