[实用新型]一种关键尺寸测试条结构有效
| 申请号： | 202221464366.0 | 申请日： | 2022-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN217444387U | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 程洋;杨宗凯;陈信全;汪华 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 吴向青 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种关键尺寸测试条结构，包括：多个密集图案，相邻的密集图案之间具有第一间隙，多个密集图案形成有图形密集测试区；多个稀疏图案，设置在图形密集测试区的一侧，且稀疏图案和密集图案之间具有第二间隙，稀疏图案形成有图形稀疏测试区；多个辅助图案，设置在图形密集测试区的侧部，且辅助图案和密集图案之间、辅助图案和稀疏图案之间具有第三间隙，第一间隙、第二间隙和第三间隙形成有图形间隙测试区；其中，辅助图案包括至少一个拐角图形，且拐角图形形成有图形角度测试区。本实用新型提出的关键尺寸测试条结构，提高了样品检测的安全性和操作性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 关键 尺寸 测试 结构 | ||
【主权项】：
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