[实用新型]一种探针光纤、晶圆和光纤与光波导耦合的结构有效
| 申请号： | 202221475183.9 | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN217846688U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 丁晓亮;田桂霞;甘飞;李量;汪军;窦佳迪;包苓暄;徐菽晗 | 申请（专利权）人： | 苏州卓昱光子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/25 | 分类号： | G02B6/25;G02B6/36;G01M11/00;G02B1/11 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李柏柏 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种探针光纤、晶圆和光纤与光波导耦合的结构。本实用新型的探针光纤具有两个切面，第一切面与光轴夹角为35～40°，表面镀有高反膜(HR膜)，第二切面与光轴夹角为10～20°，表面镀有增透膜(AR膜)，光纤中传输的光经过第一切面发生全反射，以近乎垂直于第二切面的角度透射出去，耦合进入硅光芯片的波导中。本实用新型的应用于硅光晶圆端面耦合测试的探针光纤缩小了光纤尖端尺寸，可以适用于宽度为15μm，深度为15μm的窄小晶圆切割道，相同尺寸的晶圆上可以分布更多的芯片，从而降低单颗芯片的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 光纤 波导 耦合 结构 | ||
【主权项】：
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