[实用新型]一种多轴向的MEMS热式流量芯片有效
| 申请号： | 202221495430.1 | 申请日： | 2022-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN217687346U | 公开（公告）日： | 2022-10-28 |
| 发明（设计）人： | 杨绍松;刘同庆;曹锦云;柳雪 | 申请（专利权）人： | 无锡芯感智半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾朝瑞 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种多轴向的MEMS热式流量芯片，其将3组热电堆分别按X轴向、Y轴向和45°轴向排布在芯片的中心热源的外围，使得芯片适用于监测多轴向流入的气体流量，提高了传感器的适用性，其特征在于：所述芯片的热电堆包括3组，所述3组热电堆分别按X轴向、Y轴向和45°轴向排布在芯片的中心热源的外围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 轴向 mems 流量 芯片 | ||
【主权项】：
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