[实用新型]基板的光刻胶涂覆装置有效
| 申请号： | 202221613406.3 | 申请日： | 2022-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN218251245U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 巫黄蓉 | 申请（专利权）人： | 乐金显示光电科技（中国）有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王士强 |
| 地址： | 510530 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板的光刻胶涂覆装置，包括机台、涂胶机构、主控机构以及设置在机台上的定位机构，定位机构具有四组，每组定位机构均包括间距检测部件、升降气缸以及定位件，四个定位件呈矩形阵列排布，位于四个定位件之间的区域形成放置待处理基板的涂胶位，涂胶机构用于向涂胶位上的基板涂覆光刻胶，升降气缸与定位件连接，用于驱动定位件升降，涂胶机构、升降气缸以及间距检测部件均与主控机构通信连接，间距检测部件位于涂胶位的外侧，用于检测定位件与基板边缘之间的间距。其能提前判断定位件与基板边缘之间的间距，防止定位销上升时与基板发生位置干涉，降低基板损坏的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 胶涂覆 装置 | ||
【主权项】：
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