[实用新型]一种干式多级罗茨真空泵有效
| 申请号： | 202221642212.6 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN217421521U | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 唐兴鹏;翁建龙 | 申请（专利权）人： | 威固乐真空设备（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C23/02;F04C29/12;F04C29/06;F04C29/04 |
| 代理公司： | 浙江专橙律师事务所 33313 | 代理人： | 黄春英 |
| 地址： | 313100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种干式多级罗茨真空泵，包括机柜，所述机柜内设有罗茨泵和多级罗茨泵，罗茨泵与多级罗茨泵之间通过连接道连通，所述机柜设有氮气系统，所述氮气系统包括氮气管，且氮气管内通入氮气，所述氮气管与分别连通罗茨泵和多级罗茨泵的两端盖。通过对罗茨泵和多级罗茨真空泵中通入氮气，通过氮气吹扫，将内部的粉尘从工艺段出气口冲出，将有毒有害气体排出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多级 真空泵 | ||
【主权项】：
暂无信息
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