[实用新型]一种干式螺杆真空泵有效
| 申请号： | 202221642459.8 | 申请日： | 2022-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN217421522U | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 唐兴鹏;翁建龙 | 申请（专利权）人： | 威固乐真空设备（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | F04C23/00 | 分类号： | F04C23/00;F04C23/02;F04C29/04;F04C29/06;B08B3/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 浙江专橙律师事务所 33313 | 代理人： | 黄春英 |
| 地址： | 313100 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种干式螺杆真空泵，其特征在于，包括机柜，所述机柜内设有螺杆泵和罗茨泵，且螺杆泵与罗茨泵之间设有连接管，所述罗茨泵上安装有工艺段进气口，所述机柜侧面设有氮气进口和溶剂进口，所述氮气进口连接氮气管，且氮气管连接有冲洗支管和密封支管，所述冲洗支管与罗茨泵和工艺段进气口连接，密封支管与螺杆泵连接，所述机柜侧面设有溶剂进口，溶剂进口连接有溶剂管，所述溶剂管连接到工艺段进气口。该真空泵通过氮气清洗和溶剂清洗，两者组合有效去除带有粉尘的危险气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 螺杆 真空泵 | ||
【主权项】：
暂无信息
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