[实用新型]一种用于单晶炉热屏拆装的移动装置有效
申请号: | 202221700046.0 | 申请日: | 2022-07-04 |
公开(公告)号: | CN217921285U | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 马武祥;范吉祥;张奇;邢胜昌 | 申请(专利权)人: | 麦斯克电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B66F7/08 | 分类号: | B66F7/08;B66F7/28 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 毛若鹏 |
地址: | 471000 河南省洛*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种用于单晶炉热屏拆装的移动装置,涉及直拉单晶生产领域,包括用于承载的推车,所述推车上设置有升降机构,所述升降机构的升降平台上设置有用于放置热屏的支架,所述支架通过升降机构和设置在升降机构上的平移旋转机构调整位置。本实用新型能够有效的提高大尺寸热场条件下的热屏拆卸和安装效率,操作便捷,大大减轻操作员工的工作难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶炉热屏 拆装 移动 装置 | ||
【主权项】:
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