[实用新型]高精密无表面损伤反应离子刻蚀制绒设备

摘要

本实用新型公开了高精密无表面损伤反应离子刻蚀制绒设备，包括酸洗箱，所述酸洗箱的前后侧内壁焊接安装有第一滑槽，第一滑槽内置第一滑块，第一滑块与第一滑槽滑动连接设置，第一滑块的对应侧壁焊接安装有放置板，放置板上开设有放置槽，放置槽的内侧底部开设有漏孔，漏孔的数量为若干组且呈矩形阵列排列设置。该高精密无表面损伤反应离子刻蚀制绒设备，通过设置压板将其电池片进行固定限位，使得装置在进行酸洗时，电池片不会因为浮力而出现位置的偏移，保证了酸洗的正常进行，一定程度上避免了因为电池片出现重叠堆积导致的次品率提升的情况，同时装置设置了漏孔和支撑块使得电池片与酸水的接触面更大，大大提高了装置的实用性。