[实用新型]一种多收发太赫兹扫描近场成像光路系统

摘要

本实用新型公开了一种多收发太赫兹扫描近场成像光路系统，涉及微纳光子学应用领，所述系统包括：若干太赫兹收发天线、若干第一透镜组件、第二透镜、ITO玻璃、离轴镜和探针；其中，太赫兹收发天线与第一透镜组件一一对应，若干太赫兹收发天线发射出若干太赫兹波经各自对应的第一透镜组件进行准直，准直后的若干后太赫兹波经各自对应的第一透镜组件汇聚入第二透镜，汇聚后的太赫兹波经第二透镜后转为若干相邻的平行波束，若干平行波束依次经ITO玻璃和离轴镜反射后射入探针获得若干散射信号，散射信号沿原图返回至太赫兹收发天线，本系统能够实现太赫兹扫描近场成像系统的多源同时工作。