[实用新型]一种用于多阶段硒化硫化制备铜铟镓硒硫薄膜的装置有效
| 申请号： | 202221792568.8 | 申请日： | 2022-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN218842321U | 公开（公告）日： | 2023-04-11 |
| 发明（设计）人： | 夏梽杰;韩晋琛;吴文烛;韩然然;刘祖刚;赵虹 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种用于多阶段进行硒化硫化制备铜铟镓硒硫薄膜的装置，包括一个具有三温区的管式炉、两个蒸发腔室、一个反应腔室和三个与基底相连的推拉杆，推拉杆中安装有进气管道和排气管道，作用是炉腔内载气的供应和废气的处理。通过以下三个阶段就可以实现同时或多阶段的硒化、硫化反应：反应阶段，将抽屉状的基底推入蒸发腔室和反应腔室，令混合气体从蒸发腔室流向反应腔室进行反应；排气阶段，令混合气体从反应腔室回流到蒸发腔室，并从蒸发腔室排出；基底冷却阶段，通过推拉杆将基底拉至炉腔内的冷却区域进行冷却。其中，在排气阶段使混合气体回流，更大程度地减少硒蒸汽、硫蒸气在反应腔室和管道内的冷凝，避免阻塞管道。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 阶段 硫化 制备 铜铟镓硒硫 薄膜 装置 | ||
【主权项】：
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