[实用新型]一种基台升降组件和生长设备

摘要

本实用新型实施例提供了一种基台升降组件和生长设备，属于微波等离子体气相沉积相关技术领域，作用于与反应腔滑动连接的基台组件，所述升降组件包括：第一升降机构，所述第一升降机构连接所述基台组件，所述第一升降机构带动所述基台组件在所述反应腔中升降；载板组件，所述载板组件的第一端连接所述第一升降机构，所述载板组件的第二端连接所述基台组件，所述载板组件可带动所述基台组件相对于所述第一升降机构移出；达到便于在基台上放置基片或者取晶的技术效果。