[实用新型]一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置

摘要

本实用新型公开了一种用于零件表面三维形貌还原及缺陷检测的装置，包括光源、均匀光透镜组、DMD投影单元、准直光透镜组、全反射棱镜、压电位移台、物镜、XYZ载物台、远心镜头、探测器以及计算机，工业零件放置于XYZ载物台之上，光源发出的光线经过均匀光透镜组后入射到DMD投影单元上并被调制，然后依次经过准直光透镜组、全反射棱镜和物镜，从而将正弦光栅条纹投影到工业零件表面，并由DMD投影单元产生同步信号触发探测器获取被工业零件调制后的变形光栅图像，将采集得到的图像传输至计算机中进行处理从而完成工业零件三维形貌重建。