[实用新型]晶圆旋干组件有效
| 申请号： | 202221834013.5 | 申请日： | 2022-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN218545153U | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 黄信淇;简远铭 | 申请（专利权）人： | 敦仪科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B5/08;F26B25/18;F26B25/00;H01L21/67;H01L21/673;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 康艳青;王琳 |
| 地址： | 中国台湾新竹市香*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆旋干组件包含腔体、旋转架、至少一个摇篮以及数个检知器。旋转架设置于腔体内并配置以旋干晶圆。旋转架包含底盘、顶环以及数个竖板。顶环位于底盘上方。竖板连接底盘以及顶环。至少一个摇篮设置于旋转架中并配置以容置晶圆。检知器设置于腔体外并配置以发射光。本实用新型的晶圆旋干组件可以避免位于晶篮中的晶圆在旋转架旋转时破损，或造成晶圆旋干机台的其他元件的故障。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆旋干 组件 | ||
【主权项】：
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