[实用新型]一种激光芯片高温烧结工装有效

专利信息
申请号: 202221851487.0 申请日: 2022-07-19
公开(公告)号: CN217427324U 公开(公告)日: 2022-09-13
发明(设计)人: 陈志远;林一凡;王以静 申请(专利权)人: 中久光电产业有限公司
主分类号: H01S5/02355 分类号: H01S5/02355;H01L21/67
代理公司: 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 代理人: 潘金凤
地址: 330000 江西省南昌市临空经济区*** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型公布了一种激光芯片高温烧结工装,涉及半导体芯片加工设备领域,包括:定位支架,其上设置有压紧装置,压紧装置包括压块和用于驱动压块上下移动的驱动装置,驱动装置包括按钮和滑槽杆,滑槽杆上具有一坡度的滑槽,按钮上设置有导柱,导柱的一端能在所述滑槽上滑动,导柱的另一端置于压块的上方,滑槽的高处和低处均设置有卡槽,按钮内设置有按钮弹簧,按钮弹簧的下端置于所述滑槽杆的凹槽内,压块上设置有顶紧机构,定位支架上设置有用于将压块复位的弹性装置。本实用新型通过在定位支架上设置驱动装置和弹性装置,可实现顶紧机构的上下移动,利于对芯片的压紧定位,极大的提高了生产效率,且减少了零部件损耗和损坏概率。
搜索关键词: 一种 激光 芯片 高温 烧结 工装
【主权项】:
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