[实用新型]一种激光芯片高温烧结工装有效
申请号: | 202221851487.0 | 申请日: | 2022-07-19 |
公开(公告)号: | CN217427324U | 公开(公告)日: | 2022-09-13 |
发明(设计)人: | 陈志远;林一凡;王以静 | 申请(专利权)人: | 中久光电产业有限公司 |
主分类号: | H01S5/02355 | 分类号: | H01S5/02355;H01L21/67 |
代理公司: | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人: | 潘金凤 |
地址: | 330000 江西省南昌市临空经济区*** | 国省代码: | 江西;36 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型公布了一种激光芯片高温烧结工装,涉及半导体芯片加工设备领域,包括:定位支架,其上设置有压紧装置,压紧装置包括压块和用于驱动压块上下移动的驱动装置,驱动装置包括按钮和滑槽杆,滑槽杆上具有一坡度的滑槽,按钮上设置有导柱,导柱的一端能在所述滑槽上滑动,导柱的另一端置于压块的上方,滑槽的高处和低处均设置有卡槽,按钮内设置有按钮弹簧,按钮弹簧的下端置于所述滑槽杆的凹槽内,压块上设置有顶紧机构,定位支架上设置有用于将压块复位的弹性装置。本实用新型通过在定位支架上设置驱动装置和弹性装置,可实现顶紧机构的上下移动,利于对芯片的压紧定位,极大的提高了生产效率,且减少了零部件损耗和损坏概率。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 芯片 高温 烧结 工装 | ||
【主权项】:
暂无信息
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