[实用新型]一种晶圆旋干机有效
| 申请号： | 202221959022.7 | 申请日： | 2022-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN218864694U | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 邱文金;罗家明;汤灿东;吴伟平 | 申请（专利权）人： | 广东长信精密设备有限公司 |
| 主分类号： | F26B11/18 | 分类号： | F26B11/18;F26B5/08;F26B25/00;F26B25/18;F26B25/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 韩静粉 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆旋干机，包括传动机构和甩干机构，传动机构与甩干机构相连，传动机构能够带动甩干机构转动；甩干机构包括甩干盘，支撑柱和卡柱，支撑柱为多个且沿甩干盘的周向设置，多个支撑柱围成与晶圆仿形的结构，卡柱设置于支撑柱上用于卡接晶圆。和现有技术相比，本实用新型实施例所公开的晶圆旋干机，由于甩干机构中采用了支撑柱的结构，通过支撑柱即可对晶圆进行定位，无需将晶圆放置于整个甩干盘上，大大减小了晶圆与甩干机构的接触面积，有效提升了晶圆的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆旋干机 | ||
【主权项】：
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