[实用新型]新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统有效
| 申请号： | 202222071658.4 | 申请日： | 2022-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN217817260U | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 白焰;龚伟力;姚哲卿;杨丽;韩敏娟 | 申请（专利权）人： | 信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F7/08 | 分类号： | F24F7/08;F24F13/02 |
| 代理公司： | 成都中亚专利代理有限公司 51126 | 代理人： | 王岗 |
| 地址： | 610056 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新风机房在屋脊排气在两端的厂房新风工艺排气布置系统，该布置方式适用于长宽比较大的芯片制造厂房，包括单个或双子星芯片制造厂房的设计，整体将核心的洁净新风机房设置在洁净区屋脊上；工艺排气设备沿短边设置在两端支持区屋面上，排气区域与MAU机房呈垂直方向布置；工艺排气主管布置在洁净区上技术夹层桁架内，改变了以往将MAU机房设置在厂房长边支持区四层或洁净区桁架层内，排气设备区域在长边屋面上与MAU机房相互平行布置的设计。该方案MAU机房不占用支持区面积，不占用洁净区上技术夹层空间，减小了对桁架内洁净气流的干扰，使洁净室温度、湿度、压力更加均匀和稳定，增加了桁架内的穿管空间。 | ||
| 搜索关键词： | 新风 机房 屋脊 排气 两端 厂房 工艺 布置 系统 | ||
【主权项】：
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