[实用新型]一种用于晶圆探针台的保温装置有效
| 申请号： | 202222093264.9 | 申请日： | 2022-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN218727791U | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 周国成 | 申请（专利权）人： | 无锡矽鹏半导体检测有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G05D23/19 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 朱晓林 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于晶圆探针台的保温装置，包括晶圆探针台，晶圆探针台的工作台的顶面开设有测试腔，测试腔中安装有晶圆盘支架，晶圆探针台内设有制冷器以及加热器，工作台上还设置有保温盖，保温盖覆盖于测试腔上且保温盖与工作台密封连接，保温盖上设置有温度监控装置，温度监控装置分别与制冷器以及加热器电性连接。当需要对特定环境的晶圆进行检测时，该装置保证测试环境温度的一致性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 探针 保温 装置 | ||
【主权项】：
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