[实用新型]一种真空结构有效
| 申请号： | 202222108071.6 | 申请日： | 2022-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN217845910U | 公开（公告）日： | 2022-11-18 |
| 发明（设计）人： | 贾建平;周晖雨;贾建顺 | 申请（专利权）人： | 苏州山人纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/12 | 分类号： | G01N3/12;G01B11/24 |
| 代理公司： | 苏州高专知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32474 | 代理人： | 冷泠 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市吴中区太*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空结构，包括真空组件，所述真空组件包括真空泵，所述真空泵的顶部固定安装有电磁压差式充气阀。本实用新型通过在真空泵的顶部固定安装有电磁压差式充气阀，能够通过真空系统采用二级泵配置，由分子泵、真空挡板阀、第一真空蝶阀、第二真空蝶阀、复合真空计、压差式充气阀、三通等组成，真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动，接着通过真空系统对炉体的内部进行抽真空，然后通过分子泵利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，接着将反应气体为炉体内提供热化学气相沉积所需的气源，促进长条薄板试样材料的生长、物相变化等过程，便于工作人员对长条薄板试样材料进行气泡试验工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 结构 | ||
【主权项】：
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