[实用新型]一种钽靶材喷砂装置有效
| 申请号： | 202222125359.4 | 申请日： | 2022-08-12 |
| 公开（公告）号： | CN218110461U | 公开（公告）日： | 2022-12-23 |
| 发明（设计）人： | 王永超;居炎鹏;李心然;赵泽良;王留土;范振清;史豪杰;郑海强;杨志刚 | 申请（专利权）人： | 河南东微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24C3/02 | 分类号： | B24C3/02;B24C9/00 |
| 代理公司： | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人： | 李梦然 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种钽靶材喷砂装置，包括喷砂箱，喷砂箱内设置有上挡板和下挡板；下挡板直径大于等于钽靶材背板的直径；下挡板的下方设有转动支撑组件；转动支撑组件包括下固定板，贯穿下固定板的转动轴；下固定板固定在喷砂箱的内壁上；转动轴与下固定板之间转动连接，且转动轴的下端与驱动机构连接；转动轴的上端设置有截面为矩形的插块一，下挡板下表面的中心部位设置有与插块一配合的凹槽一，下挡块通过该凹槽一插接在插块一上；上挡板与钽靶材的溅射区大小一致，上挡板的上表面设置有凹槽二，凹槽二中插接有插块二，插块二的截面为矩形，且其上连接有固定轴，该固定轴的上端转动连接有压紧组件；喷砂箱内设置有喷砂组件一和喷砂组件二。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钽靶材 喷砂 装置 | ||
【主权项】：
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