[实用新型]一种温度补偿型的薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器

摘要

本实用新型涉及薄膜体声波谐振器技术领域，特别涉及一种温度补偿型的薄膜体声波谐振器和薄膜体声波滤波器，薄膜体声波谐振器包括设有凹槽的支撑衬底，凹槽上覆设有压电层，形成空腔，压电层的位于空腔内的表面上设有第一电极层，且第一电极层与支撑衬底非接触，压电层的另一表面上设有相互分离的第一局部电极层和第二局部电极层，第一局部电极层上依次设有温度补偿层、第三局部电极层和钝化层。通过设置温度补偿层，能够对薄膜体声波谐振器进行温度补偿，避免温度变化对FBAR性能的影响，而且，由于第一局部电极和第三局部电极的保护以及没有使用牺牲层先填充后释放的工艺，因此不会对温度补偿层造成损伤。