[实用新型]一种切换装置有效
| 申请号： | 202222198760.0 | 申请日： | 2022-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN218212721U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 李卓;贡志锋;张雪娜;洪峰;张贝;陈治均 | 申请（专利权）人： | 深圳市埃芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/223 | 分类号： | G01N23/223;H01L21/66 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 周伟锋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区观澜*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种切换装置，供于配装于工作台，该工作台适用于X射线晶圆量测的探测器的标定与对位，切换装置包括旋转电机、转盘结构、探测器和至少一个定位镜头；转盘结构包括转盘本体和至少两个支撑悬臂，转盘本体连接于旋转电机的旋转轴，供于在旋转轴的驱动下相对工作台转动；支撑悬臂的一端连接于转盘本体、与一端相对的另一端沿转盘本体的径向向外辐射延伸，探测器和定位镜头分别设于不同的支撑悬臂的另一端，探测器和定位镜头供于在转盘本体的带动下切换至工作台的设定工作位上。本申请提供的切换装置用于X射线晶圆量测的探测器标定与对位的工作台，具有标定精度高、可满足于工作台在线量测和图案晶圆量测的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切换 装置 | ||
【主权项】：
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