[实用新型]一种压差稳定型半导体制造无尘室有效
| 申请号： | 202222327892.9 | 申请日： | 2022-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN218920716U | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 周晓兆 | 申请（专利权）人： | 广东汉岂工业技术研发有限公司 |
| 主分类号： | H05K5/02 | 分类号： | H05K5/02;B01D53/26;B01D46/10;H05B3/54;G01D21/00;G08B17/10 |
| 代理公司： | 佛山市科策知识产权代理事务所(普通合伙) 44539 | 代理人： | 刘瑛 |
| 地址： | 528000 广东省佛山市顺德区大良街道办事处德和居*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种压差稳定型半导体制造无尘室，属于半导体制造技术领域，包括框体，所述所框体前端设置有垂帘，述框体一端设置有防静电围帘，所述框体另一端设置有玻璃门，所述框体后端设置有背板，本实用新型通过设置干燥组件，排风机工作对无尘室内部进行换气工作时，空气进入固定管中，固定管中的防尘网对空气中的灰尘进行过滤，之后除湿网可对空气中的湿气进行吸附，最后电热丝对空气中的湿气进行蒸发去除，经过处理后的空气通过固定斗、连接管和排风机进入无尘室中，通过设置干燥组件可对进入无尘室中的空气进行干燥处理，避免进入无尘室中的空气湿度较大影响半导体制造的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 半导体 制造 无尘室 | ||
【主权项】：
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