[实用新型]一种晶圆切割机的可调夹具有效

专利信息
申请号: 202222331746.3 申请日: 2022-09-01
公开(公告)号: CN218139107U 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 韩富强 申请(专利权)人: 贵州先为瑞通智能科技有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04;B28D5/00
代理公司: 杭州知管通专利代理事务所(普通合伙) 33288 代理人: 尉敏
地址: 561000 贵州省安顺市西秀*** 国省代码: 贵州;52
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摘要: 实用新型公开的属于晶圆夹具技术领域,具体为一种晶圆切割机的可调夹具,包括支撑台和晶圆,所述晶圆设置在支撑台的上端,还包括:用于对晶圆夹持的第一夹持组件和第二夹持组件,所述第一夹持组件安装在支撑台的下端,所述第二夹持组件安装在支撑台的侧端,本实用新型有益效果是:通过对支撑台上设置第一夹持组件,由两组可调节的橡胶夹柱同时做相反运动,对晶圆边缘处限位夹持,配合可转动的夹杆对晶圆边缘处夹持,不对晶圆边缘的上下面进行夹持,从而避免晶圆边缘的上下面被夹坏的风险。
搜索关键词: 一种 切割机 可调 夹具
【主权项】:
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