[实用新型]一种实现倾斜电镀的电镀槽体

摘要

本实用新型提供了一种实现倾斜电镀的电镀槽体，包括槽体，槽体内沿夹具移动方向并排间隔设置有夹具输送单元，每个夹具输送单元包括底部移动支撑组件和侧面移动支撑组件且输送方向与夹具移动方向一致，侧面移动支撑组件位于底部移动支撑组件的斜上方；槽体上方设置有夹具推动装置，夹具推动装置与设备阴极接通，槽体内设置有阳极板。本实用新型提供的实现倾斜电镀的电镀槽体，利用槽体内设置的夹具输送单元使装有硅片的夹具在电镀液内通过电镀槽体，实现双面电镀，提高电镀效率，阴极与电镀液接触少，反镀情况明显改善，输送过程中夹具处于倾斜状态，夹具压板和硅片的重力能够帮助稳定硅片的位置，降低硅片对于夹具夹紧力的需求，降低碎片率。