[实用新型]一种显影液浓度监控装置有效
| 申请号： | 202222395415.6 | 申请日： | 2022-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN218885813U | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 黄建华;段良飞;郭玉峰;刘剑荣;董国庆;文国昇;金从龙 | 申请（专利权）人： | 江西兆驰半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N29/024 | 分类号： | G01N29/024;G05B19/042 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 周应勋 |
| 地址： | 330000 江西省南昌市南*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种显影液浓度监控装置，包括显影液暂存部、控制模块以及分别与控制模块连接的超声波检测模块、报警传输模块、温度检测模块和报警模块；显影液暂存部用于输入和输出显影液；报警模块用于发出报警信号；温度检测模块设于显影液暂存部中，用于检测显影液暂存部中的显影液的温度信号；超声波检测模块设于显影液暂存部中，用于发射和接收超声波信号；控制模块用于通过报警传输模块控制机台端的工作状态。本实用新型能够实时监测显影液浓度情况并自动控制机台端的机台的工作状态，可提高产品的生产质量和显影液浓度异常处理效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影液 浓度 监控 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西兆驰半导体有限公司，未经江西兆驰半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222395415.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：层压机及层压设备
- 下一篇：一种钛白粉表面处理装置
