[实用新型]一种碳化硅晶体生长装置的下传动机构有效
| 申请号： | 202222425769.0 | 申请日： | 2022-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN217922438U | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 乔晓杰;张海新 | 申请（专利权）人： | 山东晶升电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 济南龙瑞知识产权代理有限公司 37272 | 代理人： | 韩园园 |
| 地址： | 250013 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长装置的下传动机构，包括下盖，下盖安装于大支撑架上，大支撑架通过大支撑架连接板滑动安装于大滑台上；所述大支撑架连接板上设置有小滑台，小滑台上滑动安装有小支撑架连接板，小支撑架连接板上安装有小支撑架，小支撑架上安装有磁流体，磁流体上连接有波纹管，波纹管的另一端与下盖相连，磁流体的轴部安装有温场支撑轴，所述磁流体的下部与旋转电机相连；本实用新型可实现碳化硅晶体设备温场支撑轴的升降及自转，相比传统拉伸移动机构稳定性好，精度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 晶体生长 装置 传动 机构 | ||
【主权项】：
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