[实用新型]一种用于半导体反应腔室的防护条

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体反应腔室的防护条，包括腔室本体，所述腔室本体的内部滑动连接有四个连接座，所述连接座上接触有固定座，所述固定座上固定连接有连接块，所述连接块上固定连接有防护片，所述防护片与连接座接触，所述连接座上接触有多个防护块，相邻两个所述防护块之间相互接触，其中两个个所述防护块与防护片接触，所述连接座上设置有调节机构。本实用新型通过设计连接座与固定座的滑动连接，使得连接座与固定座的相对位置可进行调节，通过限位杆与限位槽的插接，可对连接座进行限位，可将不同数量的防护块安装与连接座上，使得可根据不同长度及宽度的腔室本体进行调节，提高了防护条适用性。