[实用新型]一种均匀的加热退火装置

摘要

本实用新型公开了一种均匀的加热退火装置，其用于对基板加热退火，包括：加热平台，具有排气口和环状的第一密封槽，第一密封槽位于排气口的外圈；受压可形变的第一密封圈，第一密封圈设置在第一密封槽内，并且第一密封圈凸出第一密封槽用于支撑所述基板，基板在加热平台上的竖直投影能够完全遮挡第一密封圈；上腔盖，上腔盖与加热平台可拆卸的密封连接，且上腔盖与加热平台连接后形成容置基板的加热腔，加热腔的压力可调。通过增大基板两侧之间的压差，使基板挤压第一密封圈，第一密封圈受压变形，直至基板与加热平台紧密接触，从而形成良好的热传导，并且受热均匀，避免了因受热不均而产生的翘曲应变和接触不良的问题。