[实用新型]一种改变磁铁间距来调节磁场强度的平面阴极结构有效
| 申请号： | 202222510398.6 | 申请日： | 2022-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN218291097U | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 文继志;高畅 | 申请（专利权）人： | 晓睿真空设备（嘉兴）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴市南湖区大桥*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种改变磁铁间距来调节磁场强度的平面阴极结构。目前调整磁场的结构，随着磁场的上下移动，容易脱离靶材范围，导致水平磁力线的分布区域也会移动，导致非溅射区有溅射。本实用新型包括基座，所述基座的上部设置导电导热件，所述导电导热件的上部设置靶材，基座内设置四个密封方管，所述的密封方管内设置磁铁，所述的磁铁包括两个间隔设置的中间磁铁和两个外部磁铁，所述的两个外部磁铁能够分别调节左右位置以改变其相对中间磁铁的间距。本实用新型通过调节两列磁铁之间的距离来调节磁场的强度，能够有效改变整体平面阴极的均匀性，结构简单，调节方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改变 磁铁 间距 调节 磁场强度 平面 阴极 结构 | ||
【主权项】：
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