[实用新型]一种三氯氢硅除尘处理用硅灰抽吸结构

摘要

本实用新型涉及三氯氢硅除尘技术领域，具体公开了一种三氯氢硅除尘处理用硅灰抽吸结构，包括：三氯氢硅合成炉，三氯氢硅合成炉内设置有吸灰管，吸灰管侧面设置有密封板，吸灰管一端设置有排料管，排料管连接在抽风机上；有益效果为：本实用新型提出的一种三氯氢硅除尘处理用硅灰抽吸结构，当需要对炉内部进行清理时，只需要打开抽风机利用排料管一端的吸灰管将三氯氢硅合成炉内部的硅灰进行吸出清理，在从出灰管排出，避免了当三氯氢硅合成炉反应结束后会在炉内产生硅灰，人工清理时需要将盖体打开，将清理工具伸进炉内然后才能进行清理，这样不仅清理效率较低，而且清理时站在高处才能对三氯氢硅合成炉内部进行清理较为不方便的问题。