[实用新型]一种卷对卷曝光装置有效
| 申请号： | 202222525228.5 | 申请日： | 2022-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN219435213U | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈国军;马迪;吴景舟 | 申请（专利权）人： | 迪盛（武汉）微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 苏州集律知识产权代理事务所(普通合伙) 32269 | 代理人： | 安纪平 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市经济技术开发区8MC地*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种卷对卷曝光装置，包括卷收卷、拉料机构、曝光机构、张紧机构和卷放卷，卷收卷和卷放卷之间设置拉料机构、曝光机构和张紧机构，卷收卷和曝光机构之间设置拉料机构，曝光机构与卷放卷之间设置张紧机构，卷放卷中的卷料经张紧机构、曝光机构、拉料机构进入卷收卷中，并且卷料通过张紧机构张紧。通过采用张紧机构，能够使卷料始终处于张紧状态，进而避免在拉料机构停止动作后，卷料由于惯性而导致的翘起，使卷料可正常被曝光处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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