[实用新型]一种集成双向TVS二极管功率器件有效
申请号: | 202222534622.5 | 申请日: | 2022-09-23 |
公开(公告)号: | CN218513462U | 公开(公告)日: | 2023-02-21 |
发明(设计)人: | 翟露青;彭宝刚;李俊贤 | 申请(专利权)人: | 淄博美林电子有限公司 |
主分类号: | H01L29/861 | 分类号: | H01L29/861;H01L29/06 |
代理公司: | 淄博川诚知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 37275 | 代理人: | 高鹏飞 |
地址: | 255000 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种集成双向TVS二极管功率器件,属于半导体器件技术领域,包括芯片,所述芯片的上端中间设置有若干单胞沟槽,单胞沟槽的侧边设置有若干环形沟槽,单胞沟槽和环形沟槽的内壁均设置有栅氧化层,芯片的上端位于单胞沟槽的四周设置有P陷区,环形沟槽和单胞沟槽的内部设置有多晶硅层,芯片内位于单胞沟槽的两侧设置有N+源区,单胞沟槽的表面沉积有绝缘层,本实用新型通过在芯片流片过程中,在芯片正面的开接触孔区域注入P陷区,制作双向TVS二极管,通过集成双向TVS二极管,双向TVS二极管可以钳制高出设定值的门极电压,从而保护门极;流片过程中,不用增加光罩,制作简单,可靠性高。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成 双向 tvs 二极管 功率 器件 | ||
【主权项】:
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