[实用新型]激光辅助功能膜层结晶的设备有效
申请号: | 202222565223.5 | 申请日: | 2022-09-27 |
公开(公告)号: | CN219019448U | 公开(公告)日: | 2023-05-12 |
发明(设计)人: | 冯治华;王雪戈;杨建;于振瑞 | 申请(专利权)人: | 无锡极电光能科技有限公司 |
主分类号: | H10K71/40 | 分类号: | H10K71/40 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 顾鲜红 |
地址: | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了激光辅助功能膜层结晶的设备,包括上料单元;下料单元;激光腔室,所述激光腔室包括上料口和下料口,所述上料口与所述上料单元相连,所述下料口与所述下料单元相连,所述激光腔室内设有传送单元、激光光源、位置传感器,所述传送单元设置在所述上料口和所述下料口之间,所述激光光源设置在所述传送单元的放置功能膜层的一侧,所述位置传感器设置在所述传送单元的远离所述激光光源的一侧;激光发生器,所述激光发生器与所述激光光源相连。该激光退火设备具有无接触式退火、退火速度快、时间短且焦深小、激光束的能量和光束的移动速度可调、不会产生噪音、无污染、结构简单等优点。 | ||
搜索关键词: | 激光 辅助 功能 结晶 设备 | ||
【主权项】:
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