[实用新型]一种用于清洗晶片的兆声波槽体有效
| 申请号： | 202222575723.7 | 申请日： | 2022-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN218251886U | 公开（公告）日： | 2023-01-10 |
| 发明（设计）人： | 钟红海;施先众;郑耀敦;赵复岗 | 申请（专利权）人： | 广东凡林装备科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京知果之信知识产权代理有限公司 11541 | 代理人： | 苏利 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于清洗晶片的兆声波槽体，包括兆声波振板、兆声波外槽、兆声波内槽、进液管、排液管；兆声波外槽设置于兆声波振板上，兆声波内槽放置于兆声波外槽内，所述进液管和所述排液管依次穿过兆声波外槽和兆声波内槽的槽壁，延伸入兆声波内槽内；所述兆声波内槽的底面相对于水平面具有一定的倾斜度。本申请所述一种用于清洗晶片的兆声波槽体的兆声波内槽的底面具有一定的倾斜度，便于在清洗过程中产生的气泡沿着斜面上升，减少了气泡的聚集，降低了兆声波能量的损失，提高了清洗效率。兆声波槽体的内槽和外槽之间采用凸棱和凹槽的方式进行固定连接，相对于传统的螺丝定位的方式，更方便拆卸和安装，减少了维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 清洗 晶片 声波 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东凡林装备科技有限公司，未经广东凡林装备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202222575723.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
